Halvledarvakuumsystem är en av nyckelutrustningarna som används för att tillverka halvledarenheter. Det är ett slutet system i en mycket ren miljö med lågt tryck för hantering och bearbetning av halvledarmaterial och -enheter.
I halvledarvakuumsystem används ofta högpresterande gummitätningar på grund av kraven på hög renhet och låga läckage. Här är några vanliga typer av gummitätningar:
Viton (FPM) tätningar: Viton är en kemisk och högtemperaturbeständig fluorelastomer som ofta används i vakuumsystem. Den har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och låg gaspermeabilitet, vilket gör den lämplig för tätningskrav som tål högt vakuum och höga temperaturer.
Nitril (NBR) Tätningar: Nitril är ett allmänt syntetiskt gummi med god olje- och nötningsbeständighet. I halvledarvakuumsystem används nitriltätningar huvudsakligen i vissa icke-höga temperaturer, icke-korrosiva applikationer, såsom lågvakuum och gasledningsanslutningar.
Silikon (VMQ) tätning: Silikon är ett högtemperaturbeständigt silikongummi med god elasticitet och värmebeständighet. Det används ofta i halvledarvakuumsystem för att motstå tätningskrav i högtemperaturmiljöer, såsom värmebehandling, glödgning och högtemperaturångrengöring.
EPDM-tätning: EPDM är ett etylenpropylengummi med god oxidationsbeständighet, syra- och alkalibeständighet. I halvledarvakuumsystem används EPDM-tätningar ofta i icke-höga temperaturer, icke-korrosiva applikationer såsom lågvakuum och gasöverföringsledningar.
Dessa gummitätningar har olika egenskaper och användningsområde. Vid val av lämplig tätning måste faktorer som systemets arbetsförhållanden, temperaturområde, mediumegenskaper och tryckkrav beaktas. Dessutom, för att säkerställa tätningsprestanda, måste tillverknings- och installationsprocessen av tätningar också följa strikta processkrav.
I halvledarvakuumsystem används förutom gummitätningar ofta gummipackningar för att uppnå effektiv tätning. Här är några vanliga typer av gummitätningar:
O-ringspackning: O-ring är en gummipackning med cirkulärt tvärsnitt och används ofta i halvledarvakuumsystem. Den har bra tätningsprestanda och kompressionsdeformationsförmåga och kan anpassas till olika tätningskrav, såsom röranslutningar, ventiler, fogar, etc.
Platt tätning: En platt tätning är en platt gummitätning som vanligtvis används för flänsanslutningar i halvledarvakuumsystem. Den uppnår tätning genom kontakt med flänsytan och är vanligtvis tillverkad av högtemperatur kemikaliebeständigt gummimaterial som Viton eller Silikon.
U-formad packning: U-formad packning är en U-formad gummipackning med tvärsnitt lämplig för specifika tätningsbehov i halvledarvakuumsystem. Det används ofta för att täta kolvar, kolvstänger, cylindrar och andra komponenter, och har god tätningsprestanda och motståndskraft mot kompressionsdeformation.
V-formad packning: V-formad packning är en V-formad gummipackning med tvärsnitt som vanligtvis används för ventiler och roterande axeltätningar i halvledarvakuumsystem. Den uppnår effektiv tätning genom kontakt med tätningsytan och har god tätning och slitstyrka.
Valet av dessa gummitätningar bestäms utifrån specifika tätningskrav, arbetsförhållanden och mediaegenskaper. Samtidigt är materialvalet för packningen också mycket viktigt. Vanligt använda material inkluderar Viton, Nitril, Silikon, etc. Det specifika urvalet bör beakta faktorer som temperaturområde, kemisk korrosionsbeständighet och gasläckagehastighet. Vid montering av packningen bör man vara uppmärksam på att hålla tätningsytan ren och se till att packningen monteras och pressas korrekt för att få en bra tätningseffekt.
Populära Taggar: halvledarvakuumsystemtätningar, Kina halvledarvakuumsystemtätningar tillverkare, leverantörer, fabrik
