Perfluoretergummi (FFKM)är ett utmärkt tätningsmaterial. På grund av dess överlägsna prestanda har den funnit en utbredd användning i hela halvledartillverkningssystemet. En av de primära förbrukningsvarorna som krävs för tillverkning av integrerade kretsar är perfluoreter tätningsringar.
Huvudmonomererna i perfluoretergummi är tetrafluoreten och perfluoralkylvinyleter, som sampolymeriseras med en liten mängd tredje monomerer med vulkaniseringspunkter. Det är ett gummi som inte innehåller några CH-bindningar alls. Fluorinnehållet i dess molekylära struktur, strukturen och innehållet av perfluorerad vinyleter, och bindningsenergin och mängden tvärbindande bindningar i vulkaniseringsprocessen påverkar alla den vulkaniserade föreningens prestanda och glasövergångstemperatur. Strukturen och komponenterna är olika, liksom deras prestanda. Följande är de primära prestandaegenskaperna för perfluoretergummi:
1) Fysikaliska egenskaper: Densiteten är 1.9-2.0g/cm3, de fysikaliska och mekaniska egenskaperna liknar fluorgummi, och högtemperaturkompressionsuppsättningen är överlägsen fluorgummi.
2) Kemisk beständighet: Den är kemiskt resistent.
3) Motstånd mot höga och låga temperaturer: driftstemperaturen är vanligtvis 260290 grader, men den kan användas intermittent vid 316 grader. Tg (glasövergångstemperatur) för vissa perfluoretergummin är -19 grad .
4) Beständighet mot högtemperaturånga.
5) Låg nederbörd och utsläpp.
6) Resistens mot plasma.
Den har hög renhet och låg nederbördsproduktegenskaper i plasmamiljön, och den kan motstå plasmapåverkan under lång tid.Tillförlitligheten hos elastomerpackningar är avgörande vid halvledartillverkning, och kostnaden för att stoppa produktionen för att ersätta packningar är extremt hög. Kraven på tätningarnas renhet och renhet är extremt stränga för att undvika potentiella risker. Samtidigt måste tätningarna kunna arbeta under en längre tid under trycket från ett högt vakuum, frätande kemiska gaser och en miljö med hög temperatur.
Råmaterial av perfluoretergummi är dyra och används ofta i halvledartillverkning. Den är resistent mot plasmakorrosion, gaskorrosion, syra- och alkalikorrosion, hög temperaturkorrosion, höga renhetskrav för gummitätningar, hjälper till att bibehålla tätningens integritet, minskar underhållstider och förbättrar säkerheten och är den bästa tätningen för tillverkning av halvledarprodukter Material.